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晶圆自动光学检测设备
NanoPro-200系列晶圆自动光学检测设备
NanoPro-200系列产品
是太阳集团0638登录网址即将推向市场的第二代
纳米图形晶圆缺陷检测设备,
其
适用于65nm-0.11um工艺产线的IC有图形和无图形晶圆
缺陷检测。
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